일본, '액체 불화수소' 수출 허가 규제품목 3개 모두 수출 허가

일본 정부가 3개 핵심소재 한국 수출규제를 발표한 이후 처음으로 반도체 생산라인용 액체 불화수소(불산액)에 대한 수출도 허가한 것으로 전해졌다.

16일 통상당국과 업계 등에 따르면 일본 정부는 최근 자국 화학소재 생산업체인 '스텔라케미파'에서 요청한 대(對)한국 액체 불화수소 수출 허가 건을 승인했다.

불화수소는 반도체 제조과정에서 식각과 불순물을 제거하는 클리닝 공정에 사용되는 소재로 지난 7월 포토레지스트, 플루오린 폴리이미드와 함께 일본이 수출 규제한 반도체·디스플레이 소재 3대 품목 중 하나이다.

일본은 수출규제 이후 3달 동안 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가하면서도 액체 불화수소는 허용하지 않았다. 이번 승인으로 수출규제 3대 품목의 한국 수출길이 제한적이나마 모두 열리게 됐다.

 

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